詳細(xì)介紹：系統(tǒng)精度為 0.7 （光柵直徑為413mm）角度分辨率為0.01 多種直徑和刻線數(shù)，與一系列的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的控制器兼容（直徑從52mm到413mm，刻線數(shù)從4,096到64,800）高速、非接觸的光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)零反向間隙具有專利的錐度基面安裝方式，使安裝簡(jiǎn)單、誤差最小與高真空兼容外型小巧，易于集成低質(zhì)量、低轉(zhuǎn)動(dòng)慣量有100，150和200mm外徑的超低轉(zhuǎn)動(dòng)慣量的圓光柵可選