潘寧規(guī)(真空計(jì))成都道和電工研究所研發(fā)的真空潘寧規(guī)提供了可靠的高真空測(cè)量。無(wú)高真空燈絲。由于等離子點(diǎn)火的鈦陰極板和高電壓降低,潘寧規(guī)也可以應(yīng)用在陰極濺射鍍膜工藝上。 特點(diǎn): 測(cè)量范圍廣:5X10-7~1Pa 全金屬冷陰極陶瓷傳感器 新型幾何電極提供了極好的點(diǎn)火性能 降低等離子點(diǎn)火高電壓和鈦陰極板污染的危險(xiǎn),即使在氬濺射過(guò)程中也一樣 陽(yáng)極環(huán)和鈦陰極可清洗,更換容易 最小磁場(chǎng)強(qiáng)度測(cè)量 LED指示燈電源和等離子點(diǎn)火 對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào) Fieldbus總線接口,集成到真空系統(tǒng)的網(wǎng)絡(luò)通信