一、 基礎(chǔ)技術(shù)參數(shù)1. 型 號(hào)： FUNCTION8762. 測(cè)量范圍： X軸700mm Y軸 800mm Z軸 600mm 3. 結(jié)構(gòu)型式： 活動(dòng)橋式4. 傳動(dòng)方式： 直流伺服系統(tǒng)+預(yù)載荷高精度空氣軸承5. 長度測(cè)量系統(tǒng)：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.5 m6. 機(jī) 臺(tái)： 高精度花崗巖平臺(tái)7. 使用環(huán)境： 溫度(20 2)℃，濕度55%-65%，溫度梯度1℃/m，溫度變化1℃/h8. 空氣壓力： 0.4MPa-0.5Mpa9. 空氣流量： 120L/min 140L/min10. 整機(jī)尺寸(LWH)：1.8mX1.35mX2.6m11. 機(jī)臺(tái)承重： 800kg 12. 整機(jī)重量： 1500Kg13. 空間測(cè)量精度：（3+L/300） m 二、 控制系統(tǒng)及探針測(cè)量系統(tǒng)：1．驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)：直流伺服電機(jī)（日本三洋）2．控制系統(tǒng)：RENISHAW UCC（英國）3．操作方式：計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制+微電腦操縱盒4．控制軟件：SEREINDMISV2.0（美國）5．探測(cè)系統(tǒng)：RENISHAW MH20i（英國）