本產(chǎn)品既能測量頻率從0--7.5KHz的機械振動位移，又可測量小至0.001微米的機械位移和零件尺寸。測量是非接觸的，故特別適合一般儀器不能勝任的旋轉(zhuǎn)軸式或不受力的小型。線型。薄壁或怕劃傷的精密零部件的靜態(tài)，動態(tài)和在線測量。曾獲得國際尤里卡發(fā)明獎。國家發(fā)明獎。國家科技進(jìn)步獎。主要技術(shù)指標(biāo)；1.量程；6微米、60微米、600微米2.分辨率；0.001微米、0.01微米、0.1微米3.測量頻率范圍；0--7.5KHz4.非線性；＜ 0.5％5.溫漂；0.5％／h（開機預(yù)熱20分鐘）6.工作溫度；-10--80度7.輸出信號；+5.1V　20MA 儀器應(yīng)用舉例；1.旋轉(zhuǎn)軸的徑向跳動，軸向竄動和回轉(zhuǎn)精度2.往復(fù)機構(gòu)的運動特性和重復(fù)定位精度3.正弦波激振和抹脈沖激振中振動測量4.機械零部件的相對振動和變形5.盤類零部件的端面振擺動6.軸承間隙和油膜厚度7.線切割機床的電極絲的振動8.機床主軸熱位移與動態(tài)加載試驗測量9.檢測零部件尺寸和平直度儀器傳感器能自動微調(diào)測量初始間隙，安裝方便，操作簡單，適宜測量多種材料，適應(yīng)高壓。高磁場等惡劣環(huán)境。