LED外延片工藝流程： 近十幾年來，為了開發(fā)藍色高亮度發(fā)光二極管，世界各地相關(guān)研究的人員無不全力投入。而商業(yè)化的產(chǎn)品如藍光及綠光發(fā)光二級管LED及激光二級管LD的應(yīng)用無不說明了III－V族元素所蘊藏的潛能。在目前商品化LED之材料及其外延技術(shù)中，紅色及綠色發(fā)光二極管之外延技術(shù)大多為液相外延成長法為主，而黃色、橙色發(fā)光二極管目前仍以氣相外延成長法成長磷砷化鎵GaAsP材料為主。 一般來說，GaN的成長須要很高的溫度來打斷NH3之N-H的鍵解，另外一方面由動力學仿真也得知NH3和MOGas會進行反應(yīng)產(chǎn)生沒有揮發(fā)性的副產(chǎn)物。