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Bruker ContourGT 非接觸3D光學(xué)輪廓儀

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更新日期: 2019-04-18 17:27
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【Bruker ContourGT 非接觸3D光學(xué)輪廓儀】詳細(xì)說明
?ContourGT表面計(jì)量系列產(chǎn)品

用于生產(chǎn)和研發(fā)的非接觸式三維光學(xué)輪廓儀

  • 業(yè)界最高垂直分辨率

  • 極高的可靠性和最好的測量重復(fù)性

  • 最高的表面測量和分析速度

  • 最強(qiáng)的使用性,操作簡便,分析功能強(qiáng)大

30年技術(shù)革新,實(shí)現(xiàn)非接觸式表面測量技術(shù)高峰

ContourGT系列結(jié)合先進(jìn)的64位多核操作和分析處理軟件,專利技術(shù)白光干涉儀(WLI)硬件和前所未有的操作簡易性,推出歷年來來最先進(jìn)的3D光學(xué)表面輪廓儀系統(tǒng)。第十代光學(xué)表面輪廓儀擁有超大視野內(nèi)埃級(jí)至毫米級(jí)的垂直計(jì)量范圍,樣品安裝靈活,且具有業(yè)界最高的測量重復(fù)性。ContourGT系列是當(dāng)今生產(chǎn)研究和質(zhì)量控制應(yīng)用中,最廣泛使用和最直觀的3D表面計(jì)量平臺(tái)。

業(yè)界最高的垂直分辨率,最強(qiáng)大的測量性能

  • 0.5倍至200倍的放大倍率,在極寬的測量范圍內(nèi),對(duì)樣品表面形狀和紋理進(jìn)行表征。

  • 任何倍率下亞埃級(jí)至毫米級(jí)垂直測量量程提供了無以倫比的測量靈活性。

  • 高分辨率攝像頭可選配件,提高了橫向分辨率和GR&R測量的重復(fù)性。


多核處理器下運(yùn)行的Vision64? 軟件,大大提高三維表面測量和分析速度

  • 新的軟件設(shè)計(jì)使數(shù)據(jù)處理速度提高幾十倍。

  • 多核處理器和64位軟件使數(shù)據(jù)分析速度提高十倍。

  • 無以倫比的無縫拼接能力,可以把成千上萬個(gè)數(shù)據(jù)拼接成一張連續(xù)的完美圖像

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測量硬件的獨(dú)特設(shè)計(jì)增強(qiáng)生產(chǎn)環(huán)境中的可靠性和重復(fù)性

  • 高亮度的雙LED照明專利技術(shù)提高測量質(zhì)量。

  • 最佳化的硬件設(shè)計(jì)提高了儀器對(duì)震動(dòng)的容忍度和GR&R測量的能力。

  • 專利的自動(dòng)校準(zhǔn)能力確保了儀器與儀器之間的相關(guān)性,測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性。


高度直觀的用戶界面,擁有業(yè)界最強(qiáng)的操作簡便和分析功能強(qiáng)大

  • 優(yōu)化的用戶界面大大簡化測量和數(shù)據(jù)分析過程,從而提高儀器和操作者效率

  • 獨(dú)特的可視化操作工具為用戶提供易于學(xué)習(xí)和使用的數(shù)據(jù)分析選項(xiàng)

  • 用戶可自行設(shè)置數(shù)據(jù)輸出的界面

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    三十年技術(shù)創(chuàng)新,迎來第十代全新產(chǎn)品
    我們的干涉儀是世界上第一個(gè)包含了著名的垂直掃描干涉技術(shù)(VSI模式),掃描頭傾斜調(diào)整,專利的自動(dòng)校準(zhǔn)和雙LED照明等革新技術(shù)。
    ContourGT系列既結(jié)合了這些已被證實(shí)的設(shè)計(jì)功能,又在硬件上進(jìn)行了大量的改進(jìn),從而給用戶提供了目前世界上最精確的、重復(fù)性最好的光學(xué)輪廓儀性能。 Bruker的光學(xué)輪廓儀具有已被證實(shí)的,將近三十年的優(yōu)越性能運(yùn)行跟蹤記錄,從研究型實(shí)驗(yàn)室到生產(chǎn)型工廠的上萬臺(tái)安裝記錄。

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    ContourGT-X光學(xué)輪廓儀配備有一體式的氣動(dòng)平臺(tái)和雙層金屬鑄件,此兩種設(shè)計(jì)都是為了隔離震動(dòng)以避免干擾測量效果,從而獲得快速、精確的、可通過GRR測試的測量結(jié)果。

    OMM結(jié)合了Bruker專利的雙LED照明光源技術(shù),在任何樣品任意放大倍數(shù)下均可提供卓越的照明強(qiáng)度和均勻性。OMM還能在整個(gè)10mm測量量程內(nèi)提供無以倫比的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的多放大倍率檢測器可包含最大三個(gè)視場目鏡,以最大化放大倍率的靈活性和穩(wěn)定性。

    ContourGT系列可選擇型號(hào)中,具有包含Bruker專利技術(shù)的內(nèi)置一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)自校準(zhǔn)功能的能力,使得閉環(huán)掃描的性能最大化。此模塊包含一個(gè)參考信號(hào),在儀器啟動(dòng)時(shí)對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行自校準(zhǔn),然后連續(xù)監(jiān)控并校正每次測量,以保證絕對(duì)的精確度和卓越的重復(fù)性。

    Bruker的傾斜調(diào)整支架設(shè)計(jì)可使得OMM傾斜,而不是樣品傾斜。這樣,被測量的樣品將總處于聚焦位置,并且在測量的視野中,確保了操作的一致性和簡易性。
    *這些選項(xiàng)僅在ContourGT-X3和/ContourGT X8型號(hào)上具有。

    在ContourGT-X型號(hào)中具有全自動(dòng)的8英寸或12英寸樣品臺(tái)。兩種樣品臺(tái)均配備有0.5um重復(fù)性的編碼器。ContourGT-K1型具有可選的6英寸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)。還可選配具有Z方向聚焦旋鈕的XY操縱桿。

    選配的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)塔臺(tái)可安裝最多4個(gè)干涉物鏡,從1倍至100倍。塔臺(tái)設(shè)計(jì)確保了當(dāng)您切換物鏡時(shí),您的測試點(diǎn)始終處于聚焦和中心位置。

    在防震臺(tái)的后面配備有一個(gè)LED光源以幫助樣品聚焦和確保操作可觀度。

    • 輔助操作燈泡*

    • 塔臺(tái)

    • 自動(dòng)樣品臺(tái)

    • 傾斜調(diào)整支架*

    • 自校準(zhǔn)功能*

    • 光學(xué)計(jì)量模塊(OMM)

    • 卓越的震動(dòng)隔離性能*

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