羅茨真空泵(簡稱羅茨泵)是一種旋轉式變容真空泵。它是由羅茨鼓風機演變而來的。根據(jù)羅茨真空泵工作范圍的不同,又分為直排大氣的低真空羅茨泵;中真空羅茨泵(又稱
機械增壓泵)和高真空多級羅茨泵。一般來說羅茨泵具有以下特點: 在較寬的壓強范圍內有較大的抽速; 起動快,能立即工作; 對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感; 轉子不必潤滑,泵腔內無油; 振動小,轉子動平衡條件較好,沒有排氣閥; 驅動功率小,機械摩擦損失?。?結構緊湊,占地面積??; 運轉維護費用低。 因此,羅茨泵在真空鍍膜、冶金、石油化工、造紙、食品、電子工業(yè)等行業(yè)得到廣泛的應用。