INFICON潘寧規(guī) 產(chǎn)品型號(hào)：PEG100 INFICONPEG100真空潘寧規(guī)提供了可靠的高真空測(cè)量。無高真空燈絲。由于等離子點(diǎn)火的鈦陰極板和高電壓降低，潘寧規(guī)也可以應(yīng)用在陰極濺射鍍膜工藝上。特點(diǎn)：測(cè)量范圍廣：5X10-7～1Pa全金屬冷陰極陶瓷傳感器新型幾何電極提供了極好的點(diǎn)火性能降低等離子點(diǎn)火高電壓和鈦陰極板污染的危險(xiǎn)，即使在氬濺射過程中也一樣陽極環(huán)和鈦陰極可清洗，更換容易最小磁場(chǎng)強(qiáng)度測(cè)量LED指示燈電源和等離子點(diǎn)火對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)Fieldbus總線接口（ProfibusDB,DeviceNet）,集成到真空系統(tǒng)的網(wǎng)絡(luò)通信