技術參數(shù)納米壓?。∟IL，NanoImprintLithography）是一種納米微制造技術，利用該技術，可以將由電子束直寫（e-BeamLithiography）或聚焦離子束（FIB）技術制備的模具的納米結構通過 印章 的辦法轉移到基底材質上。納米壓印技術非常重要，產(chǎn)生的壓力必須均勻、統(tǒng)一，Obduat的氣體軟壓印技術非常巧妙的解決了這一問題。納米壓印技術應用領域非常寬廣，比較典型的應用包括：生物微流道，光子晶體、OLED（有機電致發(fā)光二極管）、有機薄膜晶體管（OTFTs）、亞波長光學元器件等的納米微制造等。目前國內外已有幾十家著名企業(yè)、科研院校、研究中心使用Obducat的壓印技術和設備。國內北京大學的劉忠范老師，吉林大學的遲力峰老師、華中科技大學劉文老師等已經(jīng)購置了該設備進行相關的研究工作。壓印溫度范圍：室溫到250攝氏度，300攝氏度配件可選冷卻：空氣冷卻，最大壓力：70Bar紫外光源：波長范圍250nm－450nm功率（樣品處）：40－100mW/cm2自動脫模軟件程序自動控制升溫過程以及壓力大小，自動控制紫外曝光過程主要特點采用氣體軟壓技術，可以得到很好的壓印均一性與穩(wěn)定性可分別獨立采用熱壓、紫外聚合或者熱壓紫外聚合聯(lián)合使用Obducat為客戶加工定制壓印模板儀器介紹納米壓?。∟IL，Nano Imprint Lithography）是一種納米微制造技術，利用該技術，可以將由電子束直寫（e-Beam Lithiography）或聚焦離子束（FIB）技術制備的模具的納米結構通過 印章 的辦法轉移到基底材質上。納米壓印技術非常重要，產(chǎn)生的壓力必須均勻、統(tǒng)一，Obduat的氣體軟壓印技術非常巧妙的解決了這一問題。納米壓印技術應用領域非常寬廣，比較典型的應用包括：生物微流道，光子晶體、OLED（有機電致發(fā)光二極管）、有機薄膜晶體管（OTFTs）、亞波長光學元器件等的納米微制造等。目前國內外有幾十家用戶采用了Obducat的壓印設備及其技術。國內北京大學的劉忠范老師，吉林大學的遲力峰老師、華中科技大學劉文老師等已經(jīng)購置了相關的設備進行相關的研究工作。