SDY-5雙電測(cè)四探針測(cè)試儀采用了四探針雙位組合測(cè)量技術(shù),利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測(cè)量，能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，從而提高了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度 使用本儀器進(jìn)行測(cè)量時(shí)，由于不需要進(jìn)行幾何邊界條件和探針間距的修正，因而對(duì)各種形狀的薄膜材料及片狀材料有廣泛的適用性。儀器特別適用于測(cè)量片狀半導(dǎo)體材料電阻率以及硅擴(kuò)散層、離子注入層、異型外延層等半導(dǎo)體器件和液晶片導(dǎo)電膜、電熱膜等薄層(膜)的方塊電阻. 儀器以大規(guī)模集成電路為核心部件,特別采用了平面輕觸式開(kāi)關(guān)設(shè)計(jì)和各種工作狀態(tài)LED指示.并應(yīng)用了微計(jì)算機(jī)技術(shù),利用HQ-710F型微計(jì)算機(jī)作為專(zhuān)用測(cè)量控制及數(shù)據(jù)處理器,使得測(cè)量、計(jì)算、讀數(shù)更加直觀、快速，并能打印全部預(yù)置和測(cè)量數(shù)據(jù)。技術(shù)指標(biāo)：1、測(cè)量范圍：電阻率：0.001－200 .cm(可擴(kuò)展)薄層電阻:0.01-2000 /口(可擴(kuò)展)可測(cè)晶片厚度： 3.00mm2、恒流電源:電流分為100mA、1mA、10mA、100ma四檔；連續(xù)可調(diào)；穩(wěn)定度優(yōu)于0.3%3、數(shù)字電壓表：量程：0－199.99mV;分辨率：0.01mV精度： 0.1%顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示。極性、小數(shù)點(diǎn)、超量程自動(dòng)顯示；4、模擬電路測(cè)試誤差：(用1、10、100、1000?精密電阻測(cè)量) 0.3% 1字;5、整機(jī)準(zhǔn)確度：(用0.01至180 .cm硅標(biāo)樣片測(cè)試) 4%6、專(zhuān)用微計(jì)算機(jī)功能：A鍵盤(pán)控制測(cè)量取數(shù)，自動(dòng)控制電流換向和電流、電壓探針的變換，并進(jìn)行正、反向電流下的測(cè)量，顯示出平均值B鍵盤(pán)控制數(shù)據(jù)處理，按內(nèi)存公式計(jì)算出薄層電阻或電阻率平均值以及百分變化。C鍵盤(pán)控制打印全部測(cè)量數(shù)據(jù)。包括測(cè)量條件，各次測(cè)量平均值、最大值、最小值，百分變化等數(shù)據(jù)。7、外形尺寸：電氣主機(jī)：360mm 320mm 100mm；微計(jì)算機(jī)：300mm 210mm 105mm8、儀器重量：電氣主機(jī)：約4kg；測(cè)試架(J-2A型):約5kg;微計(jì)算機(jī):約2.5kg;9、電源：AC220V 10%,50Hz,功率 25W10、測(cè)試環(huán)境：溫度23 2℃；相對(duì)濕度 65％；無(wú)高頻干擾；無(wú)強(qiáng)光照射。