商品描述：掃描白光干涉顯微儀產(chǎn)品特點(diǎn)及用途結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結(jié)合顯微物鏡與干涉儀、不需要復(fù)雜光調(diào)整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學(xué)易用等優(yōu)點(diǎn)，可提供垂直掃描高度達(dá)400um的微三維測(cè)量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測(cè)。應(yīng)用領(lǐng)域包含：● 晶體（Wafer）● 光盤/硬蝶（DVDDisk/HardDisk）● 平面電組件（MEMSComponents）● 平面液晶顯示器（LCD）● 高密度線路印刷電路板（HDIPCB）● IC封裝（ICPackage）以上其它材料分析與組件微表面研究專業(yè)級(jí)的3D圖形處理與分析軟件（PostTopo）● 提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析● 提供自動(dòng)表面平整化處理功能● 提供高階標(biāo)準(zhǔn)片的軟件自校功能● 深度/高度分析功能提供線型分析與區(qū)域分析等兩種方式● 線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（Rorghness）與起伏度 （waviness）的測(cè)量分析?？商峁┒噙_(dá)17種的ISO量測(cè)參數(shù)與4種額外量測(cè)數(shù)據(jù)● 區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計(jì)分析。 具有平滑化、銳化與數(shù)字過(guò)濾波等多種二維快速利葉轉(zhuǎn)換（FFT）處理功能。● 量測(cè)分析結(jié)果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出高速精密的干涉解析軟件（ImgScan）● 系統(tǒng)硬件搭配ImgScan前處理軟件自動(dòng)解析白光干涉條紋● 垂直高度可達(dá)0.1nm● 高度的分析算法則，讓你不在苦候測(cè)量結(jié)果● 垂直掃描范圍的設(shè)定輕松又容易● 有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇● 平臺(tái)XYZ位置數(shù)顯示，使檢標(biāo)的尋找快速又便利● 具有手動(dòng)/自動(dòng)光強(qiáng)度調(diào)整功能以取得最佳的干涉條紋對(duì)比● 具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測(cè)量模式供選擇● 具有專利的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌● 具有自動(dòng)布補(bǔ)點(diǎn)功能● 可自行設(shè)定掃描方向檢測(cè)范例 技術(shù)規(guī)格參數(shù)型號(hào)SWIM 1510MS系統(tǒng)配備顯微鏡、掃描控制器、移動(dòng)平臺(tái)、取得單元、個(gè)人計(jì)算機(jī)顯微鏡單眼顯微鏡（標(biāo)準(zhǔn)配件）干涉物鏡（選配） 放大率 視野（mm） 光學(xué)分辨率（nm） 10X 0.5 1.12 20X 0.25 0.84 50X 0.1 0.61 影像縮放 1.0X（標(biāo)配）0.5X（選配）垂直掃描控制器掃描范圍掃描分辨率掃描模式光強(qiáng)度調(diào)整掃描速度100 m400 m(選配)0.1nm自動(dòng)自動(dòng)/手動(dòng)12nm/s（最快）樣品移動(dòng)平臺(tái)X、Y平面多動(dòng)平臺(tái)Z軸移動(dòng)平臺(tái)位置數(shù)字顯示單元偏移調(diào)整平臺(tái) 150mm*100mm,手動(dòng)（標(biāo)準(zhǔn)配件）80mm, 手動(dòng)(標(biāo)準(zhǔn)配件)三軸光學(xué)尺與三軸數(shù)字顯示器（分辨率1 m）手動(dòng) 取得單元 影像傳感器 感測(cè)器解析度 面型CCD（標(biāo)準(zhǔn)配件）640*480圖像(標(biāo)準(zhǔn)配件)電腦配件Pentium-Computer,17 LCD Monitor ,120G以上硬盤分 析 軟 體 MS-Windows相容的資料擷取與分析軟體包含ISO粗糙度/階高分析,快速付利葉轉(zhuǎn)換和濾多，多樣的2D和3D觀測(cè)視角圖,外形分析,圖像縮放,標(biāo)準(zhǔn)影像檔案格式轉(zhuǎn)換等等階高標(biāo)準(zhǔn)片(選配) 50nm 170nm 230nm 470nm 1800nm