半導(dǎo)體特氣檢測(cè)儀XD-303半導(dǎo)體特氣檢測(cè)儀XD-303特點(diǎn): 采用定電位電解式傳感器,對(duì)被測(cè)氣體具有選擇性。 高檢測(cè)靈敏度。 能檢測(cè)很多種類的半導(dǎo)體特氣。 液晶數(shù)字顯示?!∫?guī)格型 號(hào)XD-303AHXD-303PHXD-303BHXD-303檢測(cè)對(duì)象氣體砷烷(ASH3)磷烷(PH3)乙硼烷(B2H6)其它檢測(cè)范圍1ppm0~0.2ppm0~1ppm0~0.3ppm0~1ppm因規(guī)格而異最小刻度0.1ppm0.01ppm0.1ppm0.01ppm0.1ppm 采樣方式自動(dòng)吸引式應(yīng)答速度60%應(yīng)答40秒