真空度測(cè)試儀基于電離電荷的采樣技術(shù)
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真空度測(cè)試儀基于電離電荷的采樣技術(shù)
真空度測(cè)量?jī)x均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。該公司專家在磁放電的研究中發(fā)現(xiàn),在外激勵(lì)電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時(shí),真空滅弧室里的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對(duì)應(yīng)關(guān)系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)性。因此,我公司首刨了基于電離電荷的采樣技術(shù),顯著提高了真空滅弧室的真空度計(jì)量的準(zhǔn)確性。