產(chǎn)品用途:本機(jī)適用于硅片、石英晶片、寶石片、光學(xué)水晶、光學(xué)玻璃、鈮酸鋰、陶瓷片、玻璃及其它硬脆材料的雙面精密研磨加工。主要特點:1、變頻器配合變頻電機(jī)拖動，實現(xiàn)了軟啟動，軟停止，調(diào)速穩(wěn)定，沖擊小；2、采用三個電機(jī)同步拖動，太陽輪變速范圍更廣，可以對工作速比進(jìn)行即時精確控制，能適應(yīng)不同研磨工藝的要求；上、下研磨盤由一個主電機(jī)驅(qū)動，更為可靠。3、太陽輪與內(nèi)齒圈同步抬升，滿足了取放工件及調(diào)整游輪嚙合位置的要求；4、上下研磨盤采用斜齒輪傳動，提高了運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)性；5、采用PLC控制，壓力采用電 氣比例閥閉環(huán)反饋控制，壓力等級設(shè)定更方便精確，操作簡單易行，工作可靠穩(wěn)定；6、本機(jī)應(yīng)用人機(jī)界面（PT）顯示與PLC控制，一方面顯示運(yùn)行參數(shù)，另一方面通過其觸摸健調(diào)整設(shè)定各項工藝參數(shù)，主操作由普通健鈕完成；7、造型及內(nèi)部結(jié)構(gòu)充分考慮了操作和維修的方便性。整機(jī)精度指標(biāo):1、研磨盤平面度：0.025mm2、修正輪修研后平行平面度： 0.004mm3、加工件平面平行度： 0.0035/ 125mm加工能力:1、磨片直徑： 75mm， 100mm， 125mm2、單片承片量：17片/ 75mm8片/ 100mm5片/ 125mm3、總盤承片量：85片/ 75mm40片/ 100mm25片/ 125mm4、游星片數(shù)量：5個