雙面精密研磨拋光機(jī)一、產(chǎn)品用途本機(jī)主要用于硅片，光學(xué)玻璃，陶瓷片，石英晶體及其他半導(dǎo)體材料的雙面研磨或拋光，也可用于其他硬脆材料的雙面高精度研磨加工或拋光加工。二、主要特點(diǎn)高性能變頻器配合變頻電動(dòng)機(jī)，實(shí)現(xiàn)了軟啟動(dòng)，軟停止，調(diào)速穩(wěn)定，沖擊性小。采用二電機(jī)同步拖動(dòng)，可選擇游星輪的變速范圍更廣，能適應(yīng)不同的研磨材料及研磨工藝的要求。內(nèi)齒圈抬升由油壓控制，并在總行程范圍內(nèi)隨意停留自鎖，滿足了取放工件及調(diào)整游星輪嚙合位置的要求，太陽(yáng)輪高度調(diào)節(jié)只需調(diào)節(jié)太陽(yáng)輪座上的三組不銹鋼片的厚度，十分方便。主軸傳動(dòng)采用斜齒輪傳動(dòng)，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。采用PLC控制，壓力采用電 氣比例閥與拉力傳感器進(jìn)行閉環(huán)反饋控制，系統(tǒng)整個(gè)壓力過程可根據(jù)工藝要求實(shí)行精確控制。應(yīng)用人機(jī)界面（PT）與PLC通訊，一方面顯示運(yùn)行參數(shù)，另一方面可通過觸摸鍵調(diào)整設(shè)定各項(xiàng)工藝參數(shù)。研磨機(jī)配置了高精度的測(cè)厚裝置，工件加工的動(dòng)態(tài)情況通過（PT）顯示器隨時(shí)可見。拋光機(jī)配置特殊拋光液存儲(chǔ)器，可根據(jù)用戶的加工工藝要求，調(diào)節(jié)拋光液的溫度。三、主要技術(shù)參數(shù)上磨盤尺寸： 860 284 40mm下磨盤尺寸： 860 284 40mm磨盤轉(zhuǎn)速：0~60RPM游星輪參數(shù)：公制M=2，Z=158， =20 英制DP=12，Z=150， =20 游星輪數(shù)量：5個(gè)最大研磨直徑： 270mm設(shè)備外形尺寸（長(zhǎng) 寬 高）：1550mm 1200mm 2700mm機(jī)器重量：~4000Kg四、主機(jī)精度五、加工能力單片承量：8片/ 75mm，5片/ 100mm整盤承片量：40片/ 75mm，25片/ 100mm