技術(shù)參數(shù) 氣路通道：2（可根據(jù)客戶需求設(shè)計1-8通道）氣路流量控制：采用浮子流量計：量程（ml/min）：6～60，10～100，16～160精度（空氣）：1ml/格（6～60ml/min）2ml/格（10～100，16～160ml/min）工作壓差范圍：0.1～0.5MPa最大壓力：3MPa接口： 6,1/4 顯示：刻度工作環(huán)境溫度:5~45℃高純氣體不銹鋼管： 6外X 4內(nèi)壓力真空表：－0.1～0.15MPa,0.01MPa/格截止閥： 6 主要特點 1．本配比器適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其是方便三種氣體切換使用，而不會造成大氣進入加熱爐管。2．氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便。3．每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。4．顯示流量準確，可有效地控制氣體消耗量。5．所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸。二．工作原理由氣體鋼瓶輸入兩種氣體，形成A，B兩種組份，經(jīng)過減壓閥減壓，輸出所需流量的氣體，再通過調(diào)節(jié)每一組分的體積流量，輸出預(yù)定比例關(guān)系的混合氣體，達到加熱爐所需求得氣氛。三個連接頭可連接二或三只氣體鋼瓶（只能同時啟用二個鋼瓶），如：H2/AR，H2/N2，O2/N2等。嚴禁氫氣和氧氣同時供氣，保證安全。將配比器進口的三個連接頭直接連接到15MPa的供氣鋼瓶上，其中之一是氫氣專用連接頭，選擇連接好兩種氣體，按順序開啟供氣鋼瓶上閥門、配比器上對應(yīng)高壓截止閥及三只流量計旋鈕，再旋轉(zhuǎn)減壓閥旋鈕增大氣體壓力，調(diào)節(jié)兩種氣體流量，輸出所需要的壓力和流量。本供氣（混氣）系統(tǒng)可用于多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)，尤其方便多種氣體的切換混合使用；氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，操作方便；每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全可靠！本系統(tǒng)廣泛用于CVD供氣系統(tǒng)，氣體保護燒結(jié)，氣體保護退火等。