INCACrystal電子背散射衍射系統(tǒng)(EBSD)是顯微分析領(lǐng)域最具活力和前景的亞微米級(jí)顯微分析技術(shù)手段。它作為掃描電鏡上的一個(gè)附件，集顯微結(jié)構(gòu),顯微織構(gòu)，相鑒定等多種功能于一身，開辟了一個(gè)全新的科學(xué)領(lǐng)域：INCACrystal覆蓋了TEM和XRD的部分研究范圍，更重要的是，可以進(jìn)行許多TEM和XRD所不能完成的研究工作。 目前，INCACystal剛剛完成了硬件和軟件的全面升級(jí)，其性能和功能全面超過了任何一家EBSD，真正做到了人無我有、人有我優(yōu)。應(yīng)用：電子背散射分析(EBSD)是在掃描電鏡（SEM）條件下分析樣品晶體結(jié)構(gòu)的一種分析手段。EBSD的主要用途包括大專院校和研究機(jī)構(gòu)中的材料科學(xué)和冶金學(xué)研究半導(dǎo)體行業(yè)的研究和制造鋼鐵制造和處理鋁制品的生產(chǎn)和處理陶瓷業(yè)電子業(yè)汽車行業(yè)太空技術(shù)和國防行業(yè)能源業(yè)核技術(shù)在過去的十幾年中，EBSD已經(jīng)成為掃描電鏡測量中的一種成熟手段，從樣品中獲取將提信息已經(jīng)變得簡單易行。牛津儀器自從EBSD技術(shù)投入市場以來，一直致力于該技術(shù)的發(fā)展與研制。可伸縮調(diào)節(jié)工作距離的高靈敏度磷光體熒光屏Peltier冷卻的高靈敏度數(shù)字化CCD照相機(jī)Vanguard前散射電子探測器IEEE1394型高速接口及傳輸線，與系統(tǒng)計(jì)算機(jī)之間進(jìn)行通訊先進(jìn)數(shù)字掃描系統(tǒng)和顯微分析處理硬件系統(tǒng)計(jì)算機(jī)和INCACrystal應(yīng)用軟件包