用途： 應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)：。廣泛用于BGA/CSP（PBGA/CABG/LFBGA/SBGA/TABGA/FilipChip）封裝等的制造過程；。廣泛使用在CSP環(huán)氧樹脂硬化，精密電子元器件、晶元烘烤工程中；。廣泛用于FPC（柔性電路板）的制造過程。主要參數(shù)： 型號(hào)VNT91VNT216VNT512VNT1000工作室尺寸（mm）深4506008001000寬4506008001000高4506008001000外形尺寸（mm）深950110013001500寬950110013001500高1450160018002000溫度范圍R·T 10℃~200℃(300℃)升溫時(shí)間（空載）≤40min≤60min≤60min≤70min箱內(nèi)殘留氧氣濃度≤100ppm,耗高純度惰性氣體（如N2）流量≤20L/min(≤50min降到)≤50L/min(≤50min降到)≤100L/min(≤50min降到)≤200L/min(≤50min降到)≤7L/min（濃度保持）≤15L/min（濃度保持）≤30L/min（濃度保持）≤60L/min（濃度保持）外箱材質(zhì)雙面鍍鋅鋼板，表面噴塑處理內(nèi)箱材質(zhì)SUS304鏡面不銹鋼 引線孔φ50mm 1個(gè)，位于箱體背面控制器顯示屏5.7英寸，STN彩色LCD觸摸顯示屏顯示分辨率溫度：0.1℃，時(shí)間：0.1min程序功能20個(gè)程序,50段/程序,可設(shè)20個(gè)循環(huán),最大循環(huán)次數(shù)99次,程序可鏈接。控制方式PID重量（kg）120160280460功率（KW）2.0(2.7)2.7(3.8)5.0(6.5)6.5(9.5)標(biāo)準(zhǔn)配置氧氣濃度分析儀1套，流量計(jì)3個(gè)安全裝置1.漏電保護(hù),2.超溫保護(hù),3.風(fēng)機(jī)過熱報(bào)警,4.風(fēng)機(jī)過流報(bào)警,5.進(jìn)氣氮?dú)鈮毫Φ蛨?bào)警,6.門開報(bào)警,7.氧氣濃度分析儀故障報(bào)警.電源（V）AC380±10%V 50±0.5Hz 三相四線 保護(hù)地線符合標(biāo)準(zhǔn)GB/T 5170.2-1996、GB/T 2423.2-2001、GJB 150.3-1986